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压电超声微电机的研究现状与应用前景

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栗大超  靳世久  曾周末  赵伯雷 

摘 要:从类型、原理和结构等角度重点讨论了当前压电超声直线微电机的研究现状和发展方向;以此展开,论述了目前压电超声微电机研究领域尚需深入探索的关键技术,结合国外的应用现状分析了压电超声微电机的应用前景。
关键词:压电超声微电机;MEMS;研究现状;发展方向;关键技术;应用前景
分类号:TM38 文献标识码:A

文章编号:1001-6848(2001)03-0031-04

基金项目:教育部博士点基金资助课题(1999005607)
作者简介:栗大超(1976-),男,河南南阳人,博士生,主要研究MEMS微致动超声微马达、检测技术与智能控制。
作者单位:栗大超(天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室,天津 300072) 
     靳世久(天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室,天津 300072) 
     曾周末(天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室,天津 300072) 
     赵伯雷(天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室,天津 300072) 

参考文献:

[1]Tobias Hemsel. Survey of the Present State of the Art of Piezoelec tric Linear Motors[J].Ultrasonic, 2000,38,37-40.
[2]Ferreira. Design and Control of a Mobile Micromani-pulator Driven by Ultrasonic Motors With Multidegrees of Freedom[J].Advanced Robotics,1998,12 (2),115-133.
[3]Quandt. MEMS Actuators Based on Smart Film Ma-terials[D].The Int ernational Society for Optical Engineering Proceedings of the 1998 Conference on Micromachined Devices and Components,1998,136-146.
[4]Muralt P.Characterization of PZT Thin Films for Mi-crmotors[J].M icroelectronic Engineering Proceedings of the 1995 1st European Meeting on Integ rated Ferroelectrics, 1995,29(1-4),67-70.
[5]Kinouchi M.Application of Fuzzy PI Control to Impro-ve the Positio ning Accuracy of a Rorary-linear Motor Driven by Two-dimensional Ultrasonic Actu ators[D].The 6th UK Mechatronics FORUM International Conference of Microproces sors and Microsystems Mechatronics 98,105-112.
[6]Snitka. Ultrasonic Actustors for Nanometre Position-ing[J].Ultra sonic,2000,38,20-25.

收稿日期:2001年5月17日

出版日期:2001年6月25日


责任编辑: 整理时间:2007-1-29 16:18:09
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